研究者詳細情報

• 研究者氏名
  村上 修一
• 所属（現職）
  地方独立行政法人大阪産業技術研究所 和泉センター 電子・機械システム研究部
• 担当業務
  MEMS微細加工プロセス（フォトリソグラフィ、各種薄膜製膜、エッチング加工等）に関する装置使用・依頼加工、小型電子(MEMS)デバイス（各種センサ、アクチュエータ、発電デバイス等）の設計・試作・評価に関する技術支援
• 研究分野
  電子工学（デバイス、物性）

• 論文
  "Developing a Frequency-selective Piezoelectric Acoustic Sensor Sensitive to the Audible Frequency Range of Rodents", T. Kuwano, H. Kaneta, J. Nishikawa, K. Satoh, S. Murakami and T. Tateno, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, DOI:10.1002/tee.23260 (2020).
  "Output Power of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters Under Random Oscillation", S Murakami, T Yoshimura, M Aramaki, Y Kanaoka, K Tsuda, K Satoh, K Kanda and N Fujimura, Journal of Physics: Conference Series 1407 (2019) 012082.
  "Characterization of piezoelectric MEMS vibration energy harvesters using random vibration", S. Murakami, T. Yoshimura, Y. Kanaoka, K. Tsuda, K. Satoh, K. Kanda, and N. Fujimura, Japanese Journal of Applied Physics 57, 11UD10 (2018).
• 著書
  「エネルギーハーベスティングの設計と応用展開」 監修:桑野博喜、竹内敬治, 「第2編 環境発電技術 2 圧電」, シーエムシー出版(2015).
  「電子物性・材料の事典 」森泉豊栄 ・岩本光正 ・小田俊理 ・山本寛 ・川名明夫 編、「2.評価・作製技術 2.1 電気特性評価 b.液晶など」、朝倉書店(2006).
• 学会
  応用物理学会
  電気学会
  The American Ceramic Society
• 保有知財
  特許第4255628号(P4255628)「赤外線２次元センサアレイシステム」
• 備考
  薄膜の製膜・評価、電子デバイスの評価、MEMS微細加工プロセスに関係する装置使用、依頼加工などお気軽にご相談ください。
  また、MEMS微細加工プロセスを活用した電子デバイスの設計から試作・評価まで一貫した技術支援も行っています。